Reinstwasser
Aktivkohle für die Reinstwasserproduktion in der Elektronik- und Halbleiterfertigung
Sauberer als das Wasser selbst.
Reinstwasser ist das Lebenselixier der Halbleiterfertigung. Jeder Schritt bei der Reinigung, Spülung und Verdünnung von Chemikalien für Wafer hängt von Wasser ab, das im Wesentlichen frei von organischen Stoffen, Partikeln und gelösten Ionen ist. Bei fortschrittlichen Strukturgrößen können bereits organische Verunreinigungen im ppb-Bereich zu Defekten im Gateoxid, zum Zusammenbruch des Musters oder zu Ertragsverlusten führen. Der Aktivkohlefilter, der dieses Wasser reinigt, muss sauberer sein als das Wasser selbst.
Die Herausforderung und der PureStar-Ansatz
Die zentrale Herausforderung: Beseitigung des Risikos einer Selbstkontamination.
Selbst Aktivkohle in Lebensmittelqualität kann extrahierbare organische Stoffe, kolloidale Partikel oder Metallionen enthalten, die die Spezifikationen für Halbleiter überschreiten. Der Herstellungsprozess muss ebenso rein sein wie das Endprodukt: keine chemischen Aktivatoren, keine Säurerückstände und absolut keine Metallverunreinigungen durch die Verarbeitungsanlagen.
Warum sollten Sie sich für PureStar entscheiden?
Die Reinstwasserqualitäten von PureStar werden unter strengen Reinheitsprotokolle der Halbleiterindustrie mit Hochtemperatur-Dampfaktivierung, Reinigung durch Säurewäsche und kontrollierter Verpackung unter reinraumgerechten Bedingungen. Unsere GAC- und Spezialkohleprodukte mit geringer Extraktionsneigung und geringem Metallgehalt entfernen organische Spurenstoffe und TOC, ohne neue Verunreinigungen einzubringen. Die umfassende Chargenzertifizierung umfasst ICP-MS-Metallanalysen und TOC-Auslaugungstests und liefert damit die strenge Dokumentation, die Halbleiterfabriken für die chemische Qualifizierung benötigen.
Wichtigste Vorteile:
- Reinheit auf Halbleiter-Niveau: Hergestellt durch Hochtemperatur-Dampfaktivierung und Säurewäsche, um chemische Aktivatoren und verbleibende Verunreinigungen zu entfernen.
- Keine Selbstkontamination: Formulierungen mit geringer Extrahierbarkeit und extrem niedrigem Metallgehalt gewährleisten, dass organische Spurenstoffe und TOC entfernt werden, ohne dass dabei sekundäre Schadstoffe entstehen.
- Umfassende Unterstützung bei der Fertigungsqualifizierung: Zu den Chargenzertifizierungen gehören ICP-MS-Metallanalysen und TOC-Auslaugungstests, die den strengen Dokumentationsanforderungen für die Produktion fortschrittlicher Knoten entsprechen.
